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涡流位移传感器组合--翘曲度测量方案
一、什么是涡流位移传感器？
电涡流传感器是以电涡流效应为原理的非接触式感器，可以达到微米精度，油，水，雾气不影响测量。用于机械中的尺寸、振动、位移的测量；机械加工零件的高度、宽度，板材的厚度测量；转子与机壳的热膨胀量的长期监测；生产设备中位置微小变化在线自动监测和自动控制；科学研究中的多种微小距离和运动的测量等。
二、翘曲度测量示意图
三、技术指标
规格 | 量程(mm) | 分辨率(μm) | 线性 | 安装螺纹 |
ECM01 | 1 | 0.2 | ±0.3％ | M8 |
ECM03 | 3 | 0.4 | ±0.3％ | M16 |
ECM05 | 5 | 1 | ±0.3％ | M16 |
ECM10 | 10 | 2 | ±0.3％ | M22 |
电源：24V（DC）±10％ 温度特性：工作温度-50～ +175°C 温漂≤0.03%/°C
